Микро- и наноэлектронные системы

«Микро- и наноэлектронные системы» - программа подготовки в магистратуре СПбГЭТУ «ЛЭТИ» в рамках направления 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника».

Общее описание программы

Дисциплины программы «Микро – и наноэлектронные системы» по направлению подготовки магистрантов 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника" дают возможность студентам получить все компетенции, необходимые для создания, диагностики и применения современных и перспективных материалов и приборов микро – и наноэлектроники.

К основным дисциплинам программы относятся «Процессы микро- и нанотехнологии», «Методы анализа микро- и наносистем», «Микро- и наносенсорика».

В рамках курса «Процессы микро- и нанотехнологии» изучаются способы нанесения, удаления и модифицирования вещества на микро- и наноуровне, используемые при создании компонентов твердотельной электроники и интегральных микросхем. Изучаются базовые процессы и оборудование, используемые в традиционной микротехнологии, а также специфические процессы, позволяющие формировать структуры на молекулярном уровне и основанные на способности к самоорганизации, селективности, анизотропии и принципе матрицы. Дисциплина «Методы анализа микро- и наносистем» посвящена рассмотрению основных методов измерений и анализа электрофизических параметров, состава, кристаллической структуры и геометрических размеров структурных элементов микро- и наносистем. Дициплина «Микро- и наносенсорика» рассматривает базовые физические принципы функционирования нано- и микросенсоров, их характеристики, конструкции и особенности применения. Особое внимание уделено технологии нано- и микросенсорных систем с использованием перспективных материалов микро – и наноэлектроники.

В рамках дисциплин по выбору таких, как «Информационная электроника»,, «Органическая электроника», «Физические адаптивные системы», студенты смогут получить более глубокие знания об архитектуре и блочно-функциональной структуре кристаллов цифровых интегральных схем, физической структуре и топологии базовых элементов, а также функциональных узлов в виде логических ячеек и ячеек памяти, правилах проектирования кристаллов цифровых интегральных схем; об основных физических свойствах органических, полимерных и композитных материалов, используемых при создании приборов органической электроники, а также о структуре, свойствах и принципах работы таких органических приборов и устройств; о структуре и принципах функционирования классических адаптивных элементов и систем с целью их анализа, проектирования и программирования адаптивных реакций на заданное внешнее воздействие.

Выпускающая кафедра

Руководитель программы

Лучинин Виктор Викторович

Заведующий кафедрой МНЭ

Доктор техн. наук, профессор

Особенности программы

Дисциплины магистерской программы «Микро – и наноэлектронные системы» в первую очередь направлены на рассмотрение физических процессов и явлений, происходящих в наноразмерных слоях и частицах, и применении этих явлений для создания нового поколения приборов микроэлектроники и наноэлектроники, работающих на основе новых принципов и обладающих существенно улучшенными характеристиками. Магистранты получают знания, позволяющие разрабатывать сложнофункциональные новейшие микроэлектронные системы.

Материально-техническое оснащение учебного процесса

Учебные лаборатории для изучения дисциплин магистерской программы «Микро – и наноэлектронные системы» созданы на основе современного исследовательского и технологического оборудования, входящего в состав Учебно-научных лабораторий (УНЛ) УНЛ «Микро- и наносистем», УНЛ «Нанотехнология», УНЛ «Нанодиагностика» УНЛ «САПР микро- и наносистемной техники» и НОЦ «ЦМИД». В его состав входят установки для нанесения нанослойных покрытий, плазмохимического травления; туннельные и атомно-силовые микроскопы для исследования нанообъектов с разрешением до 1 нм по координате, измерители сверхмалых электрических величин (до 10-15 А) и ряд других уникальных приборов.

Дополнительные возможности для обучающихся по программе

Технический университет г. Лаппенранты (Финляндия), Университет Аалто (г. Хельсинки, Финляндия), Институт Фердинанда Брауна (Берлин, Германия) и другие.

Области применения полученных знаний, трудоустройство выпускников

Выпускники магистратуры программы «Микро – и наноэлектронные системы» востребованы на предприятиях, занимающихся разработкой и производством приборов и устройств микро- и наноэлектроники.

К ним относятся: ОАО НПП «Радар ММС», ОАО «Авангард», ОАО РНИИ «Электронстандарт», ОАО «ЦНИИ Электрон», ЗАО «Полупроводниковые приборы», Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, ОАО «Светлана» и другие.