Разработка нового поколения микромеханических сенсоров на основе молекулярной кинетики твердого тела, отличающихся исключительной вибро- и ударопрочностью при минимальном времени выхода на режим

Краткое описание

Принцип действия микросенсоров (микроакселерометров и микрогироскопов) на поверхностных акустических волнах (ПАВ) основан на молекулярной кинетике твердого тела. Их основным элементом являются линии задержки и резонаторы, свойства которых зависят от измеряемых параметров движения.

Исключительная простота кинематической схемы (отсутствие гибких подвесов инерционных масс) и высокий уровень конструктивной интеграции создают предпосылки для повышения точностных характеристик, уменьшения габаритов и существенного снижения общей стоимости их производства.

Стадия разработки

  • подготовка к реализации

Накопленный опыт теоретических и экспериментальных исследований как в области фундаментальных проблем ПАВ, так и в области разработки мелкосерийных партий твердотельных микросенсоров (микроакселерометров и микрогироскопов), изучение их технических характеристик на базе разработанного и сертифицированного испытательного оборудования является методологической и технологической основами заявляемой работы.

Информация о ЗИС

  • патент на изобретение, полезную модель, промышленный образец
  • Ноу-хау

Конечный результат. Область применения

Концепции построения и опытные образцы микромеханических сенсоров (акселерометра и гироскопа) на поверхностных акустических волнах.

Конкурентные преимущества

Следует отметить, что подавляющее большинство представленных на рынке в настоящее время ММГ и ММА не являются в полном смысле твердотельными. Они вынуждены использовать набор дискретных упругих подвесов, обеспечивающих необходимые степени свободы инерционным элементам, размещаемых с микронными зазорами в корпусе прибора. Эти обстоятельства ограничивают виброустойчивость и ударопрочность микрочувствительных элементов, с одной стороны, и требуют использования сложных объемных технологий, с другой.

Таким образом, разрабатываемые микросенсоры на ПАВ будут обладать следующими преимуществами

  • высокая виброустойчивость и ударопрочность
  • сохранение работоспособности в экстремальных условиях (ускорения до 65 000 g, угловые скорости до 12 000°/с)
  • планарное исполнение (только 2D-технологии), не требуется дорогостоящего оборудования
  • многократно апробированные технологии при производстве устройств на ПАВ (например, фильтров и линий задержки на ПАВ)
  • минимизация времени готовности: ЛЭТИ - 1 с и менее (Япония, КНР, КНДР - 100 с и более)

Контакты

Центр стратегического партнерства и инноваций (ЦСПИ)

Тел.: +7(812)234-29-17

E-mail: uvp@etu.ru