Патент № 2637455. Способ импульсно-периодического плазменного формирования покрытия с диффузионным слоем карбида молибдена на изделии из молибдена

Авторы

Лисенков Александр Аркадьевич, профессор каф. ЭПУ; Кострин Дмитрий Константинович, доцент каф. ЭПУ; Трифонов Сергей Александрович, аспирант каф. ЭПУ; Пикус Мария Игоревна, студентка каф. ЭПУ 

Описание

Изобретение относится к области технической физики и может быть использовано для формирования покрытий путем импульсно-периодического плазменного осаждения, а также для изменения механических, химических, электрофизических свойств приповерхностных слоев материалов.

Способ импульсно-периодического плазменного формирования покрытия с диффузионным слоем карбида молибдена на изделии из молибдена включает генерирование плазмы непрерывным вакуумно-дуговым разрядом и формирование диффузионного слоя при импульсно-периодическом ускорении ионов из плазменного потока. Формирование упомянутого покрытия на обрабатываемом изделии осуществляют путем последовательной подачи импульсов напряжения переменной полярности, формирующих импульсные потоки ускоренных ионов и электронов, при этом обеспечивают разогрев изделия до температуры 700-1000 K за интервал времени (te34), соответствующий длительности импульсов электронного тока, поступающего на изделие, и осаждение ускоренных ионов плазменного потока за интервал времени (ti12), соответствующий длительности импульсов ионного тока, поступающего на изделие, при этом устанавливают соотношение (te34)≥(ti12).

Обеспечивается получение покрытий высокого качества с достижением высокой скорости роста формируемого покрытия и, как следствие, повышение эксплуатационных свойств обрабатываемых изделий.

Патент на сайте Федерального института промышленной собственности