Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ»
им. В.И. Ульянова (Ленина) (СПбГЭТУ «ЛЭТИ»)

Сегодня 25 мая 2017 года, 1 неделя
Вернуться к стандартной версии

Совещание-семинар "Карбид кремния. Интеграция научно-образовательного и промышленного потенциала России"

24 октября 2014 года на базе СПбГЭТУ «ЛЭТИ» состоится совещание-семинар «Карбид кремния. Интеграция научно-образовательного и промышленного потенциала России». 

На совещании предполагается обсудить комплекс вопросов по ключевым процессам, используемым при реализации технологических маршрутов изготовления приборов силовой, импульсной и высокочастотной электроники, а также оптоэлектроники и микросистемой техники на карбиде кремния (SiC). Особое внимание будет уделено выращиванию объемных монокристаллов SiC и ограничениям на получение высокоомных и низкоомных монокристаллов-подложек.

Предметом особого анализа будут являться:

  • процессы эпитаксии карбида кремния применительно к получению сверхтолстых эпитаксиальных структур для силовой импульсной электроники, а также формированию гомоэпитаксиальных анизотипных композиций в едином технологическом процессе;
  • процессы получения на SiC собственного термического окисла с приемлемыми для транзисторных структур характеристиками с учетом наличия в зоне образования оксида кремния – углерода, а также альтернативная композиция «нитрид алюминия – карбид кремния», в которой функцию диэлектрика выполняет AIN. 

Предполагается обсудить результаты сопоставительного анализа российского и зарубежного уровня по традиционным и перспективным направлениям разработки и производства электронной компонентной базы на карбиде кремния и сформировать программу работ для эффективного использования отечественного научно-образовательного и промышленного потенциала с оптимизацией состава, инфраструктуры и технологических маршрутов, обеспечивающих достижения паритета в данном стратегически важном для оборонно-промышленного комплекса России направлении. 

Заявки на участие направлять по адресу:

197376, Санкт-Петербург, ул. Проф. Попова, д. 5

E-mail: cmid_leti@mail.ru

Тел./факс: (812) 234-16-82

В.В. Лучинин, Ю.М. Таиров


© 1995 - 2017 г. Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И.Ульянова (Ленина) (СПбГЭТУ «ЛЭТИ»)

Государственная лицензия на образовательную деятельность № 1103 и аккредитация

Информация, размещенная на сайте, соответствует требованиям, указанным в пункте 3.2 статьи 32
Федерального закона от 12 января 1996 года № 7-ФЗ «О некоммерческих организациях»
и Федерального закона от 08 ноября 2010 года № 293-ФЗ

Министерство образования и науки РФ | Федеральный портал «Российское образование»
Единое окно доступа к образовательным ресурсам | Единая коллекция цифровых образовательных ресурсов | Федеральный центр информационно-образовательных ресурсов

Свидетельство о регистрации СМИ 6+

Все права защищены законом Российской Федерации.