14 международная Балтийская конференция по атомно-слоевому осаждению

2 - 4 октября впервые международная Балтийская конференция по атомно-слоевому осаждению пройдет в Санкт-Петербурге, где профессор В.Б. Алесковский с коллегами и помощниками создал основы этой технологии, широко известной сегодня под названием Atomic Layer Deposition (ALD).

В конференции примут участие приглашенные зарубежные специалисты с докладами, отражающими последние достижения в развитии технологии и оборудования. Представители российских научных центров продемонстрируют свой вклад в применение ALD технологии для решения научных и производственных задач.

Конференция охватывает следующие тематические направления:

  • Металлы, нитриды, карбиды
  • Приложения в микроэлектронике
  • Механизмы реакций
  • Разработка процессов
  • Приложения в энергетике
  • Микро- и наносистемы, физика и технология
  • Измерения. Гибридные материалы

Программа