Японские разработки в области микроэлектроники: экспертное мнение ученых ЛЭТИ

Японские разработки в области микроэлектроники: экспертное мнение ученых ЛЭТИ

14 июня СПбГЭТУ «ЛЭТИ» посетила делегация представителей японских компаний ООО «Токио Боэки», Litho Tech Japan и Yokogawa, которые приехали представить российским ученым новую японскую разработку в области микроэлектроники.

21.06.2017

В составе делегации из Японии были генеральный директор ООО «Токио Боэки (РУС)» Такигава Кеиши, советник генерального директора ООО «Токио Боэки (РУС)» Кавабэ Тсунетака, коммерческий директор ООО «Токио Боэки (РУС)» Дмитрий Юрковец, президент Litho Tech Japan Минами Йоиши, советник директора Департамента полупроводниковых технологий Yokogawa Насимура Казутомо и начальник отдела разработок Minimal Fab Томита Сейиши,

В ЛЭТИ гостей встречали проректор по международной деятельности Виктор Анатольевич Тупик, начальник отдела международной академической мобильности Мария Алексеевна Киселева, начальник отдела международных проектов Дмитрий Викторович Холодняк и заведующий кафедрой микро- и наноэлектроники, директор Центра микротехнологии и диагностики Виктор Викторович Лучинин.

Главной темой обсуждения стала новая концепция полупроводникового производства, не требующего больших капиталовложений и «чистых помещений».

Фотографии со встречи

«Мы просто не могли не приехать в ваш вуз, потому что, на наш взгляд, ЛЭТИ является ведущим университетом, который занимается подготовкой специалистов в области микроэлектроники. Мы надеемся, что вам интересно будет послушать про нашу технологию из первых уст, а нам – выслушать мнение экспертов в данной области по поводу нашей разработки», – выразил мнение компании коммерческий директор ООО «Токио Боэки (РУС)» Дмитрий Юрковец.

Новая японская разработка – компактная энергоэффективная технология Minimal Fab представляет собой унифицированную модульную реализацию всех основных процессов микроэлектронного производства, включающую несколько этапов тестирования и контроля. Минифабрики Minimal Fab используются в полупроводниковой промышленности и ориентированы на производство небольших партий электронных компонентов на пластинах диаметром 0,5 дюйма. Minimal Fab имеет значительное количество преимуществ, таких как более низках стоимость по сравнению с традиционными фабриками, сокращение времени разработки новых изделий, низкие эксплуатационные расходы и другое.

В. В. Лучинин заинтересовался разработкой японских компаний, однако отметил, что результаты ЛЭТИ в этой области не отстают от разработок партнеров, являясь достижениями мирового уровня, а подобная технология полупроводникового производства уже знакома ученым университета.

«У вас действительно очень интересная технология; я уже слышал о ней. Эта тема нам очень близка, особенно моей кафедре. Мы используем подобный подход в гибкой печатной электронике. Создавать такие системы – одна из целей и задач нашего вуза. В университете создан специальный центр, который занимается созданием роботизированных систем гибкой печатной электроники по модульному унифицированному принципу», – поделился Виктор Викторович.

В. В. Лучинин рассказал гостям о деятельности вуза в области микроэлектроники, в частности, о разработке технологии нанесения полупроводниковых пленок алмазов и создании прототипов приборов для силовой электроники, которая осуществлялась совместно с американским ученым – авторитетом в области физико-химического анализа поверхности алмаза Джеймсом Батлером и завершилась созданием полевого транзистора на основе алмаза. Также Виктор Викторович упомянул о знаменитом «методе ЛЭТИ», разработанном профессором ЛЭТИ Юрием Михайловичем Таировым еще в 1978 году – методе выращивания объемных кристаллов полупроводникового карбида кремния различных политипных модификаций, широко используемом для промышленного производства слитков карбида кремния ведущими фирмами мира.

Стороны обсудили достоинства новой концепции полупроводникового производства, а также обменялись мнениями по поводу возможности распространения подобных минифабрик в России.